Pa mor hanfodol yw purdeb nwy mewn gweithgynhyrchu lled-ddargludyddion?
Consensws Cyffredinol mewn Gweithgynhyrchu Lled-ddargludyddion
Mae consensws sefydledig yn bodoli mewn gweithgynhyrchu lled-ddargludyddion: mae terfyn uchaf perfformiad sglodion yn cael ei ddiffinio gan ddyluniad, tra bod terfyn isaf y cynnyrch cynhyrchu yn dibynnu ar burdeb deunyddiau.
Daw'r ddelwedd o'r rhyngrwyd.
Y Rhestr Nwy Llawn Y tu ôl i Sglodion Sengl
O lanhau wafferi a dyddodiad ffilm tenau i ysgythru a dopio, mae'r broses gynhyrchu ar gyfer un wafer 12 modfedd yn cynnwys mwy na 30 math o nwyon proses, gan gynnwys silane, amonia, trifflworid nitrogen, hecsafflworid twngsten, hydrogen clorid, a mwy. Rhaid danfon pob nwy i'r siambr adwaith gyda phurdeb tra-uchel.
Gall amhureddau hybrin ar y lefel ppb (lleithder, ocsigen, deunydd gronynnol) sy'n mynd i mewn i'r pibellau nwy achosi diffygion ffilm tenau a halogiad rhyngwynebol, gan lusgo'n uniongyrchol y cynnyrch cynhyrchu. Gan gymryd y broses 3nm fel enghraifft, mae pob sglodyn unigol yn werth cannoedd o ddoleri yr Unol Daleithiau; mae amrywiad o ddim ond 1% mewn cynnyrch yn ddigon i ddileu elw sy'n werth degau o filiynau.
Pam nad yw "Purdeb Uchel" yn Ddigonol?
O fewn y diwydiant lled-ddargludyddion, nid yw "purdeb uchel" yn cyfateb i "broses{0}}parod". Yr her wirioneddol yw cadw purdeb - cynnal halogiad -nwy rhydd trwy gydol yr holl lwybr danfon o'r ffynhonnell nwy i'r pwynt defnyddio (POU).
Mae tri cham diogelu craidd yn gweithio ar y cyd i gyflawni hyn:
(1) Dewis Deunydd: Mae tiwbiau a chyrff falf yn cael eu cynhyrchu o ddur di-staen 316L wedi'i aildoddi'n ddwbl VIM + VAR i leihau'r nwyon sy'n mynd allan o ddeunyddiau sylfaenol.
(2) Gorffen Arwyneb: Garwedd arwyneb mewnol Ra Llai na neu'n hafal i 0.25 μm (10 μin.) gyda thriniaeth electropolishing (EP) i leihau adlyniad gronynnol ac arsugniad lleithder.
(3) Uniondeb Selio Hermetic: Cyfradd gollwng heliwm Llai na neu'n hafal i 1×10⁻⁹ atm·cc/sec i rwystro mynediad halogiad allanol yn gyfan gwbl.
Atebion Cyflenwi Nwy Lled-ddargludyddion
VIGOR VUPS Ultra-Mae llinell gynnyrch High Purity yn cwmpasu'r gadwyn gyflenwi nwy lawn sy'n cydymffurfio â safonau SEMI, gan gynnwys ffitiadau wyneb metel VCR, falfiau diaffram purdeb uchel a rheolydd pwysedd dau gam.
Mae'r holl gynhyrchion yn cael eu cydosod, eu profi a'u-gwactod bagiau-yn cael eu pacio mewn ystafelloedd glân Dosbarth 100 cyn eu cludo. Nid falfiau unigol yn unig yw'r hyn y mae cwsmeriaid yn ei dderbyn, ond system sicrwydd purdeb plwg gyflawn a{{5}chwarae ultra-.
Mae cynhyrchion VIGOR wedi bod yn gweithredu'n ddibynadwy mewn systemau dosbarthu nwy arbenigol a phiblinellau cyflenwad nwy CVD / PVD mewn nifer o ffabiau wafferi, sy'n gydnaws â nwyon proses critigol fel silane, trifflworid nitrogen a boron trichlorid.
Mae gweithgynhyrchu lled-ddargludyddion yn ras ddiddiwedd yn erbyn halogion - a chenhadaeth VIGOUR yw sicrhau'r llinell gychwyn lanaf bosibl ar gyfer y ras hon.
